气体切换模块n辅无法正常控制误[错误代码:2362 2363]

原因¶

气体切换模块的辅侧无法正常控制。

措施¶

• 请确认气体切换模块的供给压力是否在下述范围内。
  

  

  

• 请确认气体切换模块的设定压力是否低于供给压力。

• 请确认气体的供给压力是否稳定。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的安博（中国）分公司联系。