DetAPCn氢气流量超过规定值[错误代码:2300 2301 2302 2303]

原因¶

氢流量超过了规定值。如果在APC操作期间更改进气压力，则可能会发生这种情况。

措施¶

• 在APC运作期间，请勿开关气体供给源头的阀门。
• 请在供气的状态下再次启动APC。
• 请确认氢气的供给压力在以下的范围内。
  
  

  
• 请确保氢气供应压力稳定。

如果在检查上述情况后没有改善，则可能是APC控制系统出现故障。请停止阀的气体供给后关闭仪器的主电源，并与您所在区域内的安博（中国）分公司联系。